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設(shè)計(jì)一臺(tái)可靠的真空鍍膜設(shè)備，其抽真空排氣系統(tǒng)是尤為重要的。對(duì)于真空裝置中抽氣泵組的選配，主要包括前級(jí)泵的選配、主泵的選擇以及粗抽泵的確定，這三方面的核心問題。

一、前級(jí)泵：

在進(jìn)行前級(jí)泵的選配時(shí)，要注意機(jī)械泵的泵速是在常壓下測(cè)量出來的，而正常使用的泵都是在大氣壓之下工作的，這樣就降低了泵的泵送速度，所以要根據(jù)抽速曲線來配置泵。

1、前級(jí)泵的配置必須遵守的原則：

（1）以滿足主泵進(jìn)氣口能工作的最大壓力所需的預(yù)抽時(shí)間要求為準(zhǔn)；

（2）可抽掉主泵產(chǎn)生的氣體的最大量；

（3）必須滿足主泵工作所要求的預(yù)真空條件。

2、不同主泵配置的前級(jí)泵不同：

（1）蒸汽流泵前級(jí)配置泵。包括擴(kuò)增泵、油擴(kuò)散噴射泵、油擴(kuò)散泵等。 在主泵排氣口的最大允許壓力下，要求將主泵產(chǎn)生的最大氣體量排出。

（2）羅茨泵串聯(lián)機(jī)組。此類前級(jí)泵配置方式有兩種類別：一個(gè)是羅茨泵加羅茨泵加機(jī)械泵；另一個(gè)是羅茨泵加羅茨泵加水環(huán)泵。不同的兩種方式都是以羅茨泵為主泵，另一羅茨泵為前級(jí)泵的配置方式。

（3）其它常見的前級(jí)泵配置有：羅茨泵以油封機(jī)械泵為前級(jí)泵、羅茨泵前級(jí)配置水環(huán)泵以及渦輪分子泵的前級(jí)配置泵等。

二、主泵：

真空鍍膜的泵組選配時(shí)，主泵選擇是一個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)。主泵的選擇不能只追求單一方面的指數(shù)，它必須根據(jù)使用條件考慮多項(xiàng)指標(biāo)。真空鍍膜機(jī)的主泵選擇依據(jù)有：

1、通過實(shí)際鍍膜生產(chǎn)過程所需的工作壓力進(jìn)行主泵的選擇：

此要求作為主泵選取的首要要點(diǎn)，由于真空室的工作壓力一定要能夠保證在主泵最佳抽速的壓力范圍中間，因此需要掌握主泵最佳抽速的壓力范圍，而主泵抽速是以工藝生產(chǎn)中放出的氣量、所需工作壓力、系統(tǒng)漏氣量等因素決定。主泵的有效抽速計(jì)算涉及到真空室的要求工作壓力以及真空室的總氣量等因素。想要增大主泵的有效抽速就必須先增大流導(dǎo)，所以設(shè)計(jì)連接管道得短且粗，且管道直徑一般要大于主泵入口直徑。

2、空載時(shí)，鍍膜真空室所需要達(dá)到的極限壓力：

主泵的類型是根據(jù)真空室中需要建立的極限壓力來確定的。主泵的極限壓力通常比真空室的極限壓力高，一般是高了0.5-1之間的數(shù)量級(jí)。

3、不同工藝的鍍膜真空室對(duì)油污染要求標(biāo)準(zhǔn)的不同，來選擇無油、半無油或有油真空泵來作為主泵。

4、了解泵送的氣體的類型、組成、溫度、灰塵雜質(zhì)的氣體等情況，需要慎重選擇主泵。

5、投資預(yù)算與運(yùn)維經(jīng)濟(jì)等預(yù)算來選擇。

三、粗抽泵

由于各種濺射離子泵、低溫泵、低溫吸附泵(不包括分子篩泵)等需在某種預(yù)真空狀態(tài)下才可以工作。在這種情況下，真空鍍膜設(shè)備所需的粗抽泵的抽氣速度不僅受真空容器的容積影響，還受預(yù)先設(shè)定的預(yù)抽時(shí)間的影響。